测量表面清洁度的方法多种多样,例如:基于荧光分析法或基于X 射线的方法,然而这些方法的缺点也很明显,包括限制对某些类型的污染的验证、传感器的距离对结果产生的结果较大、器昂贵及测量成本高。相比之下,接触角测量法在测量表面清洁度方面提供了更可行的解决方案。
接触角测量法是一种即使在小污染方面也能实现高灵敏度方法。根据 Young 方程,液滴在固体表面的形状取决于液体的表面张力和样品表面的表面能。不溶性污染(油脂、油等)会形成低表面能的表面,从而产生更大的接触角。有界面活性的污染物(表面活性剂等)会溶解在液滴中,导致表面张力下降,从而接触角也会随时间降低。
该方法的优点是为您提供有关杂质(可溶性/不溶性)类型和位置的相关信息,并且易于应用。它是非破坏式的,可以使用移动式测量设备在任何地方执行。
尝颁顿系列表面清洁分析仪为美国科诺研制的行业性分析仪器,可在分析测试水滴在液晶屏、晶圆(奥补蹿别谤)、芯片或笔颁叠板表面的形成的角度值的基础上,进而分析笔濒补蝉尘补效果,是一种基于界面化学分析系统的表面清洁度测试系统。该仪器由主机和颁础厂罢&迟谤补诲别;2.0水滴角分析软件两个部分组成。根据样品台移动方式不同,我们将主机分为自动(尝颁顿1000础)、手动(尝颁顿1000惭)两种。样品台尺寸及其控制行程可根据客户要求定制。